国家/地区 日本(21) 美国(12) 世界知识产权组织(8) 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(3)
IPC部 H(17) C(13) G(7)
B(6)
IPC大类 H01(17) C01(13) G01(7)
B82(6) C07(2) C08(2)
IPC小类 H01L(17) C01B(13) B82Y(6)
G01N(4) C08G(2) G01R(2)
IPC H01L021/336(11) H01L029/786(11) H01L029/16(10)
C01B031/02(8) H01L029/66(8) H01L051/05(8)
H01L051/30(8) H01L021/02(7) C01B032/182(6)
H01L029/06(6) H01L029/778(6) H01L051/40(5)
C01B031/04(4) C01B032/15(4) G01N027/12(4)
发明人 SATO S(22)
公开年 2014(3) 2015(3) 2018(3) 2012(2) 2016(2) 2017(2) 2020(2)
申请年 2016(5)  2014(4)  2009(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(22)