国家/地区 英国(8) 美国(5) 德国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(6) G(2)
IPC大类 H01(6) C01(4) C23(4)
IPC小类 H01L(6) C01B(4) C23C(4)
IPC C01B032/186(4) H01L021/02(4) H01L029/16(4)
C23C016/26(3) H01L021/04(2) H01L029/66(2)
发明人 THOMAS S(9)
公开年 2022(9)
申请年 2021(6)  2022(3) 
专利权人 PARAGRAF LTD(8)