国家/地区 中国(20)
IPC部 H(15) C(9) B(3)
G(2)
IPC大类 H01(15) C23(4) C01(3)
C30(3) B82(2) G01(2)
IPC小类 H01L(13) C23C(4) C01B(3)
C30B(3) B82Y(2)
IPC H01L021/205(4) C23C016/26(3) H01L021/324(3)
B82Y030/00(2) C01B031/04(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人 WANG D(21)
公开年 2013(17) 2012(3)
申请年 2012(21)
专利权人 UNIV XIDIAN(15)