国家/地区 中国(17)
IPC部 H(13) C(7)
IPC大类 H01(13) C23(4) C30(3)
IPC小类 H01L(13) C23C(4) C30B(3)
IPC H01L021/205(4) C23C016/26(3) H01L021/324(3)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人 WANG D(17)
公开年 2013(17)
申请年 2012(17)
专利权人 UNIV XIDIAN(15)