国家/地区 中国(8)
IPC部 C(7) H(3)
IPC大类 C01(6) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(3) C01B032/184(2) C01B032/186(2)
C23C016/26(2)
发明人 WANG Z(8)
公开年 2015(5) 2017(3)
申请年 2015(8)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(8)