国家/地区 中国(11)
IPC部 H(6) B(5) C(4)
IPC大类 H01(6) B01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(5) B01J(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2)
发明人 WEI Z(11)
公开年 2012(9) 2013(2)
申请年 2012(11)
专利权人 UNIV PEKING(8)