国家/地区 中国(9)
IPC部 H(6) B(3) C(2)
IPC大类 H01(6) C01(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2)
发明人 WEI Z(9)
公开年 2012(9)
申请年 2012(9)
专利权人 UNIV PEKING(8)