国家/地区 中国(8)
IPC部 C(7) H(7) G(2)
IPC大类 H01(7) C01(5) C23(3)
G02(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(5) C23C(3)
G02F(2)
IPC H01L027/12(6) C01B032/184(3) C23C016/26(3)
C23C016/455(3) C01B032/16(2) C01B032/186(2)
C23C016/18(2)
发明人 XIA Y(8)
公开年 2021(5) 2020(2)
申请年 2020(6) 
专利权人 HKC CO LTD(8)