| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 |
C(7)
H(7)
G(2)
|
| IPC大类 |
H01(7)
C01(5)
C23(3)
G02(2) |
| IPC小类 |
H01L(7)
C01B(5)
C23C(3)
G02F(2) |
| IPC |
H01L027/12(6)
C01B032/184(3)
C23C016/26(3)
C23C016/455(3) C01B032/16(2) C01B032/186(2) C23C016/18(2) |
| 发明人 |
XIA Y(8)
|
| 公开年 | 2021(5) 2020(2) |
| 申请年 | 2020(6) |
| 专利权人 |
HKC CO LTD(8)
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XIA Y, ZHUO E, ZHANG Y, YE L
