国家/地区 中国(12)
IPC部 C(7) H(3) B(2)
G(2)
IPC大类 C23(3) H01(3) C08(2)
G01(2)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) G01L(2)
IPC C23C016/44(2) G01L001/22(2)
发明人 XIE X(12)
公开年 2016(6) 2017(5)
申请年 2016(12)
专利权人 SHANGHAI INS.(5) UNIV EAST CH.(2) UNIV HUAZHON.(2)