国家/地区 中国(9)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 C01(5) H01(4)
IPC小类 C01B(5) H01L(4)
IPC C01B031/04(5) H01L021/28(3) H01L021/336(2)
H01L029/78(2)
发明人 XIE X(9)
公开年 2013(9)
申请年 2012(5)  2013(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)