国家/地区 中国(11) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) B(3) H(3)
IPC大类 C01(6) H01(3) B01(2)
IPC小类 C01B(6) B01J(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(5) H01L021/02(2) H01L021/265(2)
发明人 ZHANG M(11)
公开年 2013(11)
申请年 2013(7)  2012(4) 
专利权人 CHINESE ACAD.(4) SHANGHAI INS.(2)