国家/地区 中国(8) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 日本(2) 墨西哥(2)
IPC部 B(13)
IPC大类 B82(13)
IPC小类 B82Y(13) C23C(13) C01B(8)
H01L(3) B01J(2) G01N(2)
IPC B82Y040/00(13)
发明人
公开年 2017(10) 2016(3)
申请年 2016(13)
专利权人