国家/地区 | 中国(6) 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3) |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)
H01(10)
C01(2)
|
IPC小类 |
C23C(10)
H01L(6)
H01M(4)
C01B(2) |
IPC |
C23C014/06(10)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(10)![]() |
申请年 | 2020(6) 2019(2) 2021(2) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
WU C, NI I, HSU Y, HUANG J, XU Y, WU Z