国家/地区 中国(6) 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 台湾(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) H01(10) C01(2)
IPC小类 C23C(10) H01L(6) H01M(4)
C01B(2)
IPC C23C014/06(10)
发明人
公开年 2021(10)
申请年 2020(6)  2019(2)  2021(2) 
专利权人