国家/地区 日本(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C014/06(13)
发明人
公开年 2013(3) 2015(3) 2016(2) 2018(2)
申请年 2013(3)  2014(3)  2011(2)  2015(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2)

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M