国家/地区 中国(15) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18)
IPC小类 C23C(18) H01L(4) G02F(3)
C01B(2) C03C(2) H01M(2)
IPC C23C014/08(18)
发明人 CHEN Y(2) LI J(2) ZHANG C(2)
公开年 2021(12) 2022(5)
申请年 2021(18)
专利权人