国家/地区 中国(14)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) H01L(4) B01J(2)
C01B(2) C04B(2)
IPC C23C014/08(15)
发明人 CHEN X(2) LI J(2) LIU H(2)
公开年 2022(15)
申请年 2022(9)  2021(5) 
专利权人