| 国家/地区 | 中国(14) |
| IPC部 |
C(15)
H(5)
B(4)
G(2) |
| IPC大类 |
C23(15)
H01(5)
B01(2)
C01(2) C04(2) G01(2) |
| IPC小类 |
C23C(15)
H01L(4)
B01J(2)
C01B(2) C04B(2) |
| IPC |
C23C014/08(15)
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| 发明人 |
CHEN X(2)
LI J(2)
LIU H(2)
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| 公开年 |
2022(15)
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| 申请年 | 2022(9) 2021(5) |
| 专利权人 |
LAN S, HU P, JIANG T, BI F, LI H
ZHAO J, GU J, DOU S, WEI H, LI Y
YE J, LI T, WANG L, LUO M, JIANG L, LI Z, LIU H, LI S, LIU W, LV Z, MI J, HAO L, YU Q, WANG W
CHEN X, HOU M, YAN L, XIE B, GUO Y, CHEN Y
FU Y, WEI K, HAN Z
