国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) H01L(4) C01B(2)
G02F(2)
IPC C23C014/08(15)
发明人 CHEN Y(2) LI J(2) ZHANG C(2)
公开年 2021(10) 2022(5)
申请年 2021(15)
专利权人