国家/地区 |
中国(15)![]() |
IPC部 |
C(15)![]() |
IPC大类 |
C23(15)![]() |
IPC小类 |
C23C(15)
H01L(4)
C01B(2)
G02F(2) |
IPC |
C23C014/08(15)![]() |
发明人 |
CHEN Y(2)
LI J(2)
ZHANG C(2)
|
公开年 | 2021(10) 2022(5) |
申请年 |
2021(15)![]() |
专利权人 |
FU Y, WEI K, HAN Z
XIANG J, JIA M, HAN T, TANG L
WANG X, YU G, WANG G, LUO G, LI J, LI X
LI J, XIE Y, HOU Y, XIE G, YANG B
SHI Z, ZHANG C, ZHU H, WU T, GAO B
HUANG L, LU H, MA Z, WANG C, FANG M, CAI G, GAO J, HUANG S