国家/地区 中国(20)
IPC部 C(20)
IPC大类 C23(20) H01(7) B22(3)
C01(3) C22(3) C25(3)
C30(3) B32(2) B82(2)
IPC小类 C23C(20) H01L(4) B22F(3)
C01B(3) C22C(3) C30B(3)
B32B(2) B82Y(2) C25D(2)
IPC C23C014/18(20)
发明人 CHANG K(2) CHEN K(2) LI Z(2)
WANG H(2) WU G(2)
公开年 2021(12) 2022(6) 2023(2)
申请年 2021(20)
专利权人 UNIV HENAN(2) UNIV PEKING(2)