国家/地区 美国(7) 中国(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 台湾(3) 日本(2)
IPC部 B(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9) C01B(5) B82Y(4)
H01L(4) B05D(3) B32B(3)
C30B(2)
IPC C23C014/48(9)
发明人 VEERASAMY V(2) VEERASAMY V S(2) ZHANG Y(2)
公开年 2010(2) 2012(2)
申请年 2012(3)  2009(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(2) GUARDIAN IND.(2)