国家/地区 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 台湾(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11) C01B(6) B32B(2)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/01(11)
发明人
公开年 2021(11)
申请年 2020(4)  2021(4)  2019(3) 
专利权人 EV GROUP THA.(2)