国家/地区 | 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 台湾(2) |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C23(11)![]() |
IPC小类 |
C23C(11)
C01B(6)
B32B(2)
B82Y(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/01(11)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(11)![]() |
申请年 | 2020(4) 2021(4) 2019(3) |
专利权人 | EV GROUP THA.(2) |
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
BURGGRAF J, JUERGEN B
MOKKAPATI V R, POVAZAY B, UHRMANN T, ULLMANN T, MOKKAPATI V R S S, SARMA M V R, THOMAS A
CAO T, JIA J, YANG Z, LIAN M, SU Y