| 国家/地区 | 中国(16) 韩国(4) 美国(3) 日本(2) |
| IPC部 |
C(22)
|
| IPC大类 |
C23(22)
H01(7)
C01(5)
C22(2) |
| IPC小类 |
C23C(22)
H01L(6)
C01B(5)
C22F(2) C23F(2) |
| IPC |
C23C016/02(22)
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| 发明人 |
HE P(4)
YANG D(4)
ZHANG Z(4)
LEE E(2) SONG H(2) |
| 公开年 | 2020(13) 2019(6) 2021(3) |
| 申请年 |
2019(22)
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| 专利权人 | CHINA DONGFA.(4) SHANGHAI XIN.(2) |
YU Y, SUN F, FENG A, CHEN B, MI L, SONG L
CHOI H Y, PARK J W, EUGENE L, DOH C H, BAE Y
RU Z, MA W, LIANG B, SONG H, ZHU Y, SONG S, YIN Z
IFUKU R, MATSUMOTO T, SUGIURA M, RYOTA I, TAKASHI M, MASAHITO S
KO K B, YOO B, HAN M, TRANVEITCUONG, HONG C
HU X, JIANG M, CHEN C, LI X
