国家/地区 中国(16) 韩国(4) 美国(3) 日本(2)
IPC部 C(22)
IPC大类 C23(22) H01(7) C01(5)
C22(2)
IPC小类 C23C(22) H01L(6) C01B(5)
C22F(2) C23F(2)
IPC C23C016/02(22)
发明人 HE P(4) YANG D(4) ZHANG Z(4)
LEE E(2) SONG H(2)
公开年 2020(13) 2019(6) 2021(3)
申请年 2019(22)
专利权人 CHINA DONGFA.(4) SHANGHAI XIN.(2)