国家/地区 美国(11) 中国(10) 韩国(10) 世界知识产权组织(6) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 台湾(3)
IPC部 C(18)
IPC大类 C23(18) H01(17) C01(8)
G01(2) H05(2)
IPC小类 C23C(18) H01L(14) C01B(8)
H01G(2) H01J(2)
IPC C23C016/02(18)
发明人 AHN W(2) AHN W S(2) KIM H(2)
KIM H S(2) NARKEVICIUTE I(2) SHEN X(2)
SHIN H(2) SHIN H J(2) VARADARAJAN B N(2)
WANG Q(2)
公开年 2021(18)
申请年 2020(12)  2021(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) LAM RES CORP(2) UNIV SUNGKYU.(2)