国家/地区 |
日本(9)![]() |
IPC部 |
B(9)![]() |
IPC大类 |
B01(9)![]() |
IPC小类 |
B01J(9)![]() |
IPC |
C23C016/02(9)![]() |
发明人 | MATSUMOTO T(3) IFUKU R(2) |
公开年 | 2013(2) 2016(2) |
申请年 | 2014(2) |
专利权人 | TOKYO ELECTR.(3) SAMSUNG ELEC.(2) |
NAGEL C J, BRODEUR C L, NAZEL C A J, BRODARD C L
KAMISHIMA M, WATANABE H, NAGAMUNE T, KATADA A
NISHIDE D, MATSUMOTO T, KAGAYA M, IFUKU R
CHEN Y, LI J, LI Y, ZHANG X, LEE Y
MATSUMOTO TAKASHI, MATSUMOTO T
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