国家/地区 韩国(7) 美国(7) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4) 澳大利亚(3) 加拿大(2) 台湾(2)
IPC部 C(13) B(7) H(3)
IPC大类 C01(13) C23(13) B01(3)
B82(3) H01(3) B32(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/02(13)
发明人 NAGEL C J(3) BRODEUR C L(2)
公开年 2021(13)
申请年 2020(13)
专利权人 QUANTUM ELEM.(3)