国家/地区 韩国(26)
IPC部 C(26)
IPC大类 C23(26) C01(13) H01(13)
B01(4) B32(3) C09(3)
H05(3) B05(2) G02(2)
IPC小类 C23C(26) C01B(13) H01L(11)
H01J(4) B32B(3) C09D(3)
B01D(2) B01J(2) B05D(2)
G02B(2) H01M(2) H05H(2)
IPC C23C016/26(26)
发明人 BYUN K(4) BYUN K E(4) SHIN H(4)
SHIN H J(4) SHIN K(4) SHIN K W(4)
IFUKU R(3) LEE C(3) LEE C S(3)
MATSUMOTO T(3) GYU S(2) JAI L H(2)
KIM C(2) LEE E(2) LEE J(2)
公开年 2021(20) 2022(4) 2020(2)
申请年 2020(26)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) TOKYO ELECTR.(3) EV GROUP THA.(2) KUK IL GRAPH.(2)
SHIN U C(2) TES CO LTD(2)