国家/地区 |
韩国(15)![]() |
IPC部 |
B(15)![]() |
IPC大类 |
C23(15)
C01(14)
B01(6)
B05(5) H01(5) B32(3) B82(2) C30(2) |
IPC小类 |
C23C(15)
C01B(14)
B01J(5)
B05D(4) B05B(3) B32B(3) B82Y(2) C23F(2) C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(15)![]() |
发明人 |
LEE Y T(5)
BEDWORTH P V(2)
HEISE S E(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2) |
公开年 | 2016(8) 2017(6) |
申请年 |
2016(15)![]() |
专利权人 | LEE Y T(5) LOCKHEED MAR.(2) |
KIM M J, SEO T H, LEE S, KIM S M, AHN S, BAE S, SON D I
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
HEISE S E, BEDWORTH P V, SWETT J L, SINTON S W
KIM S H, KOO B H, PARK K S
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
KIM H, JANG B, KWON G H, KIM H Y, JANG B Y