国家/地区 韩国(15)
IPC部 B(15)
IPC大类 C23(15) C01(14) B01(6)
B05(5) H01(5) B32(3)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C23C(15) C01B(14) B01J(5)
B05D(4) B05B(3) B32B(3)
B82Y(2) C23F(2) C30B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(15)
发明人 LEE Y T(5) BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2)
SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2016(8) 2017(6)
申请年 2016(15)
专利权人 LEE Y T(5) LOCKHEED MAR.(2)