国家/地区 美国(16) 中国(12) 世界知识产权组织(11) 韩国(9) 日本(5) 台湾(4) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(23)
IPC大类 C23(23)
IPC小类 C23C(23) H01L(15) C01B(14)
H01B(6) B82Y(4) C30B(4)
H01G(2) H01M(2) H05K(2)
IPC C23C016/26(23)
发明人 CHEN Y(3) DAVIS M A(2) LAI Y(2)
LI J(2) ZHANG X(2)
公开年 2015(13) 2014(9)
申请年 2014(23)
专利权人 DAVIS M A(2) SOLAN LLC(2) UNIV TAIWAN .(2)