国家/地区 中国(8) 美国(4) 台湾(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10)
IPC小类 C23C(10) H01L(3) C01B(2)
C22C(2) G03F(2) H01B(2)
IPC C23C016/26(10)
发明人 CHEN C(10)
公开年 2018(3) 2022(3) 2020(2)
申请年 2016(4)  2022(3)  2019(2) 
专利权人 CRRC IND RES.(4) TAIWAN SEMIC.(2)