国家/地区 日本(13)
IPC部 C(13)
IPC大类 C01(13) C23(13) B01(4)
C30(4) H01(4) B32(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/26(13)
发明人 AIDA H(5) AOTA N(5) BEDWORTH P V(2)
HEISE S E(2) SINTON S W(2) SWETT J L(2)
公开年 2017(12)
申请年 2016(13)
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5) LOCKHEED MAR.(2)