国家/地区 中国(5) 韩国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12) C01(7) H01(7)
B82(2) C30(2)
IPC小类 C23C(12) C01B(7) H01L(4)
B82Y(2) C30B(2)
IPC C23C016/26(12)
发明人 MA Y(2)
公开年 2023(12)
申请年 2021(12)
专利权人