国家/地区 中国(22)
IPC部 C(22)
IPC大类 C23(22) C25(3) G01(3)
H01(3) B05(2) C01(2)
G21(2)
IPC小类 C23C(22) C25D(3) G01N(3)
B05D(2) C01B(2) G21H(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(22)
发明人 CHEN Z(22)
公开年 2017(5) 2014(4) 2022(4) 2018(3) 2013(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2016(5)  2014(4)  2017(3)  2021(3)  2013(2)  2022(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(4) SUZHOU HONGJ.(3) UNIV SOUTHEA.(3) BEIJING GRAP.(2)
CHINA NUCLEA.(2) JIATE SEMICO.(2) UNIV PEKING(2) UNIV SHANGHA.(2)