国家/地区 美国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) C23(8) H01(5)
C30(3) C04(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/32(8)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2021(4) 
专利权人