国家/地区 中国(15)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C23C(15) C01B(6) H01L(4)
C30B(3)
IPC C23C016/32(15)
发明人 LI Z(3) LI Y(2) WANG Y(2)
公开年 2021(3) 2022(3) 2016(2) 2017(2)
申请年 2021(6)  2016(2) 
专利权人