国家/地区 中国(151) 美国(79) 韩国(60) 世界知识产权组织(39) 欧洲专利局(EPO)(22) 日本(22) 台湾(11) 德国(5) 澳大利亚(4) 新加坡(4) 巴西(3) 加拿大(3) 英国(2) 印度(2) 墨西哥(2) 罗马尼亚(2) 土耳其(2)
IPC部 C(232) H(83) B(66)
G(13) F(3) A(2)
IPC大类 C23(232) C01(84) H01(80)
B82(29) B22(18) B01(16)
C09(9) C22(9) C30(9)
G01(7) B32(6) C08(6)
H05(6) B05(5) C03(5)
IPC小类 C23C(232)
IPC C23C016/44(232)
发明人 LI Z(12) SHI H(12) ZHANG Y(12)
HUANG D(8) LI J(8) JIANG H(7)
WANG Z(7) MA Y(6) NAGEL C J(6)
ZHANG X(6) BRODEUR C L(5) GAO X(5)
LEE J(5) MATSUMOTO T(5) WANG J(5)
公开年 2022(34) 2021(32) 2015(28) 2017(24) 2014(18) 2016(18) 2013(17) 2018(14) 2020(13) 2023(12) 2011(9) 2012(9) 2019(4)
申请年 2021(34)  2016(27)  2020(23)  2014(22)  2013(21)  2015(20)  2022(20)  2012(15)  2019(14)  2017(12)  2010(10)  2018(9)  2011(4) 
专利权人 CHINESE ACAD.(9) CHONGQING MO.(7) SAMSUNG ELEC.(7) QUANTUM ELEM.(6)
TOKYO ELECTR.(6) HARBIN INST .(5) ZHEJIANG CHI.(5) CHONGQING GR.(4)
KOREA ADVANC.(4) SHANGHAI XIN.(4) UNIV SINGAPO.(4) AIXTRON SE(3)
BEIJING TANR.(3) CHINESE ACAD.(3) DAEJOO ELECT.(3) SK INNOVATIO.(3)
UNIV INJE IN.(3) UNIV PEKING(3) CALIFORNIA I.(2) CHANGZHOU 2D.(2)