国家/地区 美国(8) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 台湾(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C23(11) C01(6) H01(6)
B32(2)
IPC小类 C23C(11) C01B(6) H01L(5)
B32B(2) H01B(2)
IPC C23C016/455(11)
发明人
公开年 2016(6) 2015(4)
申请年 2015(11)
专利权人