国家/地区 | 美国(8) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 台湾(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(11)![]() |
IPC大类 |
C23(11)
C01(6)
H01(6)
B32(2) |
IPC小类 |
C23C(11)
C01B(6)
H01L(5)
B32B(2) H01B(2) |
IPC |
C23C016/455(11)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(6) 2015(4) |
申请年 |
2015(11)![]() |
专利权人 |
SULTANA M, LI M J, HESS L A
TZENG Y, CHANG C, TZENG Y H
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
KOSTAMO J, MALINEN T, LI W
KOJIMA E, KATAYAMA M, KANO K, OONISHI S, ONISHI S
NISHIDE D, MATSUMOTO T, KAGAYA M, IFUKU R
LIPOMI D J, ZARETSKI A, LIPOMI D