| 国家/地区 | 中国(11) 韩国(4) |
| IPC部 |
C(16)
H(4)
B(2)
G(2) |
| IPC大类 |
C23(16)
|
| IPC小类 |
C23C(16)
H01L(3)
C30B(2)
|
| IPC |
C23C016/455(16)
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| 发明人 |
CHO S M(2)
HE P(2)
KIM K S(2)
KIMHYUNGKEUN(2) YANG D(2) ZHANG Z(2) |
| 公开年 |
2020(16)
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| 申请年 | 2019(7) 2020(6) 2018(3) |
| 专利权人 | CHINA DONGFA.(2) KOREA ELECTR.(2) MCK TECH CO .(2) |
WU X, LI Y, OU X, JIANG L, LI T, YANG X
KO K B, YOO B, HAN M, TRANVEITCUONG, HONG C
RUAN S, HUANG J, DUAN S, LI S, SUN X, YU T, LIANG X
