国家/地区 中国(11) 韩国(4)
IPC部 C(16)
IPC大类 C23(16)
IPC小类 C23C(16) H01L(3) C30B(2)
IPC C23C016/455(16)
发明人 CHO S M(2) HE P(2) KIM K S(2)
KIMHYUNGKEUN(2) YANG D(2) ZHANG Z(2)
公开年 2020(16)
申请年 2019(7)  2020(6)  2018(3) 
专利权人 CHINA DONGFA.(2) KOREA ELECTR.(2) MCK TECH CO .(2)