国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C23(10) C01(6) H01(4)
C21(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(6) H01L(4)
C21D(2) H01J(2)
IPC C23C016/26(10)
发明人
公开年 2021(10)
申请年 2020(5)  2021(4) 
专利权人 NINGBO INST .(2)