国家/地区 |
中国(10)![]() |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C23(10)
C01(6)
H01(4)
C21(2) |
IPC小类 |
C23C(10)
C01B(6)
H01L(4)
C21D(2) H01J(2) |
IPC |
C23C016/26(10)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(10)![]() |
申请年 | 2020(5) 2021(4) |
专利权人 | NINGBO INST .(2) |
LI M, ZHANG C, LI H, LENG Y, LI C
ZHANG L, YE Q, WANG X, SHEN L
SONG Y, ZHAO Z, SUN Z, CHEN Y
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
DAI D, YANG K, LIN Z, JIANG N, MA H