国家/地区 中国(10)
IPC部 C(10) B(6) H(3)
IPC大类 C23(10) C01(5) B82(3)
H01(3) B81(2)
IPC小类 C23C(10) C01B(5) B82Y(3)
H01L(2)
IPC C23C016/56(10)
发明人 TAN H(2)
公开年 2017(10)
申请年 2016(6)  2017(4) 
专利权人 UNIV TAIYUAN.(2) WUXI GRAPHEN.(2)