国家/地区 美国(19)
IPC部 C(19) H(9) B(8)
F(3) G(2)
IPC大类 C23(19)
IPC小类 C23C(19) C01B(7) C25D(7)
C22C(4) H01M(3) H05K(3)
B05D(2) B22F(2) B29C(2)
B82B(2) C01G(2) F28F(2)
G03F(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C23C018/16(19)
发明人 JANG B Z(3) ZHAMU A(3) LEE H(2)
LEE J(2) LIN Y(2)
公开年 2021(6) 2020(3) 2017(2) 2019(2) 2023(2)
申请年 2020(4)  2018(3)  2021(3)  2011(2)  2015(2)  2019(2) 
专利权人 NANOTEK INST.(3) SAMSUNG ELEC.(2)