国家/地区 美国(14) 中国(9) 世界知识产权组织(9) 韩国(8) 日本(7) 欧洲专利局(EPO)(5) 台湾(4) 俄罗斯(2)
IPC部 B(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C23F(15) C01B(14) B82Y(11)
H01L(7) B32B(6) B44C(6)
H01B(6) C23C(5) B01J(4)
B05D(3) C03C(3) B21B(2)
B82B(2) C22C(2) C22F(2)
IPC C23F001/00(15)
发明人 CHIBA Y(2) HONG B H(2)
公开年 2010(3) 2011(3) 2012(3) 2013(3) 2018(2)
申请年 2009(4)  2011(4)  2012(3) 
专利权人 JX NIPPON MI.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)