| 国家/地区 | 美国(14) 中国(9) 世界知识产权组织(9) 韩国(8) 日本(7) 欧洲专利局(EPO)(5) 台湾(4) 俄罗斯(2) |
| IPC部 |
B(15)
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| IPC大类 |
C01(15)
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| IPC小类 |
C23F(15)
C01B(14)
B82Y(11)
H01L(7) B32B(6) B44C(6) H01B(6) C23C(5) B01J(4) B05D(3) C03C(3) B21B(2) B82B(2) C22C(2) C22F(2) |
| IPC |
C23F001/00(15)
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| 发明人 | CHIBA Y(2) HONG B H(2) |
| 公开年 | 2010(3) 2011(3) 2012(3) 2013(3) 2018(2) |
| 申请年 | 2009(4) 2011(4) 2012(3) |
| 专利权人 | JX NIPPON MI.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2) |
YANASE Y, YANASE M, LIANG L
KIM N, RYU J, YEONG K N, CHEOL R J, KIM N Y, RYU J C
CHIBA Y, YAMAJI T, YOSHIHIRO C, TATSUYA Y, CHIBA G
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T
ARNOLD M, GOPALAN P, SAFRON N S, KIM M, ARNOLD M S
