国家/地区 美国(16) 中国(10) 世界知识产权组织(9) 日本(8) 韩国(8) 欧洲专利局(EPO)(6) 台湾(4) 俄罗斯(2)
IPC部 B(17)
IPC大类 C23(17)
IPC小类 C23F(17) C01B(14) B82Y(12)
H01L(9) B32B(7) H01B(7)
B44C(6) C23C(5) B01J(4)
B05D(4) C03C(3) B21B(2)
B82B(2) C22C(2) C22F(2)
IPC C23F001/00(17)
发明人 CHIBA Y(2) HONG B H(2)
公开年 2010(4) 2011(3) 2012(3) 2013(3) 2018(2)
申请年 2009(4)  2011(4)  2012(3) 
专利权人 JX NIPPON MI.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)