| 国家/地区 | 美国(9) 世界知识产权组织(9) 欧洲专利局(EPO)(6) 日本(6) 韩国(6) 中国(4) 波兰(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
B(11)
|
| IPC大类 |
C01(11)
|
| IPC小类 |
C01B(11)
C30B(11)
B82Y(6)
C23C(5) H01L(5) B01J(2) B32B(2) |
| IPC |
C30B025/02(11)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2014(3) 2011(2) |
| 申请年 | 2013(2) 2014(2) |
| 专利权人 |
LING D, LIU J, WEI D, ZHANG Q, HE X
CIOCHON P, KOLODZIEJ J, CICHON P
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
WODTKE A, YU H K, ALEC W, HAK KI Y, YU H, YUK H K, YUK H
DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG K, ZHANG Y
STRUPINSKI W, STRUPIAFSKI W, STRUPINSKI W O
