国家/地区 美国(9) 世界知识产权组织(9) 欧洲专利局(EPO)(6) 日本(6) 韩国(6) 中国(4) 波兰(2) 台湾(2)
IPC部 B(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11) C30B(11) B82Y(6)
C23C(5) H01L(5) B01J(2)
B32B(2)
IPC C30B025/02(11)
发明人
公开年 2014(3) 2011(2)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人