国家/地区 美国(8) 中国(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C01(15)
IPC小类 C01B(15) C30B(15) B82Y(8)
H01L(4) C23C(2) H01B(2)
IPC C30B029/02(15)
发明人
公开年 2013(15)
申请年 2012(8)  2013(4)  2011(3) 
专利权人