国家/地区 美国(10) 中国(9) 日本(9) 世界知识产权组织(8) 韩国(7) 欧洲专利局(EPO)(6) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 新加坡(2)
IPC部 B(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14) C23C(14) B82Y(7)
B01J(3) B32B(3) C30B(2)
G01N(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(14)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2017(14)
申请年 2016(11)  2017(3) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)