国家/地区 日本(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 C01(10) C23(10) B82(6)
B32(5) H01(5) H05(3)
B01(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(10)
发明人
公开年 2013(7) 2012(2)
申请年 2012(10)
专利权人

SULLIVAN M M E, HILTY R D, MARTENS R I, ZHENG M, HEMOND J H B, LIU Z, SULLIVAN MALERVY M E, SULLIVAN MALERVY M, HILTY R, MARTENS R, HEMOND J, SULLIVANMALERVY M E