| 国家/地区 | 美国(8) 中国(5) 韩国(5) |
| IPC部 |
C(12)
|
| IPC大类 |
C23(12)
C01(8)
H01(6)
C25(3) C30(3) B32(2) H05(2) |
| IPC小类 |
C23C(12)
C01B(8)
C25D(3)
C30B(3) H01L(3) B32B(2) H01G(2) H01J(2) H05K(2) |
| IPC |
C23C014/34(12)
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| 发明人 | ZHANG X(2) |
| 公开年 | 2016(6) 2017(5) |
| 申请年 |
2016(12)
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| 专利权人 |
JOONGKEE L, WONCHANG C, HUNGI J, CHAIRUL H, JAEYOUNG W, JIYOUNG K, JOOMAN W, AYOUNG K
HUANG Y, HU C, HU Q, HUANG Y C, HU C L
WU H, ZHAO X, HUANG K, XIA Y, ZHANG C, LU X, SHEN G, WEI H, XIA W
YOON S, PARK B, YOON S G, PARK B J
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
