国家/地区 中国(14) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C23(14) H01(6) C01(3)
B01(2) C22(2)
IPC小类 C23C(14) C01B(3) H01B(3)
H01L(3)
IPC C23C014/16(14)
发明人 WANG Z(2) WU W(2) YANG F(2)
ZHOU J(2)
公开年 2021(14)
申请年 2021(8)  2020(4)  2019(2) 
专利权人