国家/地区 美国(6) 世界知识产权组织(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(5) 韩国(5) 中国(4) 台湾(3)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/26(11)
发明人 THOMAS S(2)
公开年 2017(3) 2016(2) 2020(2)
申请年 2016(3)  2014(2) 
专利权人